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¹ÝµµÃ¼»ê¾÷,¼®À¯ÈÇÐ,±Ý¼Ó°ø¾÷µîÀÇ ½ÇÇè, ¿¬±¸¹×»ý»ê¿ëÀ¸·Î »ç¿ëµÇ´Â
¼ø¼ö°¡½º´Â ¿ë±â³»¸éó¸®,¼¼Ã´Á¤Á¦¼³ºñ ¹× Á¤¹ÐºÐ¼®À¸·Î Á¦Á¶ µÊ |
¿ëµµ |
°¢Á¾ºÐ¼®±â, ¹ÝµµÃ¼»ê¾÷, ±Ý¼ÓÀÇ ºÐ±¤ºÐ¼®±â, Àü±¸ºÀÀÔ¿ë, ¼®À¯ÈÇÐ |
Á¾·ù |
O2:99.995%, H2:99,9999%, N2:99.9999%, He:99.9999%, Ar:99.9999%,
CO2:99.999% |
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Ç׸ñ |
¼³¸í |
Ư¡ |
¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ ¹× ¿¬±¸¿ëÀ¸·Î »ç¿ëµÇ´Â Ư¼ö°¡½º´Â Á¾·ù°¡´Ù¾çÇÏ°í µ¶¼ºÀ̸ç ÃÊ°í¼øµµ°¡ ¿ä±¸µÊ |
¿ëµµ |
¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶, ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿¬±¸ |
Á¾·ù |
SiH4, SiH2Cl2, Si2H6 , AsH3, B2H6, Cl2, BCl3, BF3, PH3, WF6, N2O, NH3, CF4,
CO, C3F8, C4F8, HCl, SiCl4, SF6, NF3, CH4, KR, NE, XE, AIR |
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Ç׸ñ |
¼³¸í |
Ư¡ |
°¢Á¾ ºÐ¼®±âÀÇ º¸Á¤, °øÁ¤°ü¸® ¹× ǰÁú°ü¸®¿ëÀ¸·Î »ç¿ëµÇ´Â Ç¥Áذ¡½º´Â
¹Ì·®¼ººÐÀÇ È¥ÇÕ°ú ºÐ¼®ÀÇ Á¤¹Ðµµ°¡ °¡Àå Áß¿ä |
¿ëµµ |
¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶, ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿¬±¸ °¢Á¾ ºÐ¼®±â¿ë Ç¥Áذ¡½º, ´ë±â¿À¿°ÃøÁ¤,
ÀÚµ¿Â÷¹è±â°¡½ºÃøÁ¤, ¿¬¼Ò½ÇÇè, ¼®À¯ÈÇÐÁ¦Á¶°øÁ¤°¨½Ã¿ë ºÐ¼®±â |
Á¾·ù |
CO-CO2-N2, CO-O2-N2, C3H8-N2, He-H2, C3H8-N2-02, H2-N2, H2-Ar,
C2H4-N2, H2S-N2, CH4-Ar, Others |
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¼³¸í |
Ư¡ |
·¹ÀÌÁ®,½Äǰ,¿ëÁ¢,Á¶¸í,ÇØÀúŽ»çµî °¢ »ê¾÷ºÐ¾ß¿¡¼ ´Ù¾çÇÏ°Ô »ç¿ëµÇ´Â
È¥ÇÕ°¡½º´Â ÇÊ¿äÇÑ ³óµµ·Î È¥ÇÕµÈ 2°¡Áö ÀÌ»óÀÇ °í¼øµµ °¡½º·Î ÀÌ·ç¾îÁü |
¿ëµµ |
°¢ ·¹ÀÌÁ® ¹ßÁø, Ư¼ö¿ëÁ¢, ÀÇ·á, ½ÄǰÆ÷Àå, Á¶¸í, È£Èì, ¹æ»ç´ÉÃøÁ¤ |
Á¾·ù |
He-N2-CO2, CH5-N2-H2, N2-CO-CO2, He-N2-CO2-CO, H2-N2, O2-CO2-N2, He-Ar, NO-N2, CH4-Ar, Others |
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Ç׸ñ |
¼³¸í |
Ư¡ |
´ÙÀ½°ú °°Àº ´Ù¾çÇÑ ºÐ¾ß¿¡µµ Ư¼ö°¡½º¸¦ °ø±Þ |
¿ëµµ |
°¢ Àü±âÀü¿¬¿ë, ¿¬¼Ò¿ä,¿¬¼Ò±â±â½ÃÇè¿ä, ±Ý¼Ó¿Ã³¸®¿ë, ÈÇÐÁ¦Ç°¿¬·á,
Á¦¾àÇÕ¼º, Ư¼öÀü±¸, ±âŸ µî |
Á¾·ù |
He-N2-CO2, CH4-N2-H2, N2-CO-CO2, He-N2-CO2-CO, H2-N2,
O2-CO2-N2, He-Ar, NO-N2, CH4-Ar, Others |
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